Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives - Équipe Photonique
Poster De Conférence Année : 2024

Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives

Léopold Boudier
Tanneguy Blandin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1418895
Henri Camon
Olivier Gauthier-Lafaye

Résumé

Nous présentons les résultats de mesure des déformations grand champ intervenant lors de lithographies par nano-impression via un moule souple intermédiaire, en vue d'appliquer cette technique grande surface et bas cout à la réalisation de métasurfaces actives demandant l'utilisation de procédés technologiques multi-niveaux.

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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04709148 , version 1 (08-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04709148 , version 1

Citer

Léopold Boudier, Tanneguy Blandin, Jean Baptiste Doucet, Franck Carcenac, Henri Camon, et al.. Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives. OPTIQUE Normandie 2024, Jul 2024, Rouen, France. 2024. ⟨hal-04709148⟩
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